CMU系列高精度三坐標測量機是天準生產的高端測量設備，采用獨特的單邊高架結構形式，具備性能穩定可靠、高效率、高精度等特點，可覆蓋絕大多數觸發及掃描復雜測量的應用場景。
①自主研發的軟件、電控及探測系統，具有更好的適配性
②優化設計的主體結構和溫度場分布，具有更好的精度穩定性和測量速度
③創新性地將直線電機技術運用到坐標測量機，其良好的運動特性有效保證了機器測量精度，又提高了測量效率
④關鍵結構部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移動橋在質量更輕的同時，具備更高剛性與更低溫度線膨脹性能，極大 提高了精度與長期可靠性
⑤單邊高架移動橋式設計，移動質量更輕，驅動更接近移動質心，減小阿貝誤差，有效提高了運動性能與精度穩定性
⑥高剛性高性能氣浮導向，無摩擦無磨損，三軸均采用四面環抱式設計，具備氣浮壓力監測功能，有效確保穩定性
⑦三軸采用超低線溫度線膨脹系數光柵尺，對溫度變化不敏感，有效提高整機的精度
⑧Z軸采用平衡氣缸氣動邏輯保護和硬件抱死保護兩種保護機制，可在緊急情況下確保探測系統的安全